除金屬轉(zhuǎn)子流量計外,工業(yè)上常用的流量計包括差壓流量計、渦街流量計、電磁流量計、超聲波流量計、渦輪流量計、橢圓齒輪流量計等。對于不同的被測流體、不同的流動狀態(tài)和不同的測量位置,每種流量計都有各自的優(yōu)缺點。例如,在不同流速的場合,多種流量計如孔板和渦街可用于中高流速下的流量測量,而金屬浮子流量計在較低流速和較高壓力下的流量測量中起著非常重要的作用,特別是在低雷諾數(shù)的情況下。
在多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)場使用金屬轉(zhuǎn)子流量計時,由于測量介質(zhì)的瞬時流量太小或不穩(wěn)定,工作壓力低或不穩(wěn)定,流量計前后測量管內(nèi)徑變化太大,流量計前后的直管段嚴重不符合使用要求,特別是當測量介質(zhì)為氣體時,流量計測量管內(nèi)的介質(zhì)流量極不穩(wěn)定,導(dǎo)致浮子跳動。浮子的垂直上下線性運動通過磁耦合系統(tǒng)傳遞,并轉(zhuǎn)換成指針軸的旋轉(zhuǎn)操作,與指針軸結(jié)合的指針旋轉(zhuǎn)以指示介質(zhì)的瞬時流動。當流量計測量管中浮子的跳動現(xiàn)象傳遞給指針時,它變成指針的連續(xù)振蕩現(xiàn)象,導(dǎo)致流量指示不穩(wěn)定,甚至根本無法讀取刻度值來確定瞬時流量值。
如果現(xiàn)場出現(xiàn)這種現(xiàn)象,通常的處理方法是分析指針擺動的主要原因。在大多數(shù)情況下,多晶硅生產(chǎn)過程中采取措施改善介質(zhì)流動條件,從而減少和避免指針擺動。然而,大多數(shù)情況下,指針擺動的頻率和幅度很難避免并從根本上降低。
|